四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的一种电子气体，是一种非常强的温室气体。直接排放将会给全球环境带来巨大的破坏。

        利用活性炭治理四氟化碳的主要过程首先是利用活性炭和吸脱附设备对四氟化碳进行捕捉吸附，吸附饱和完成后，再进行脱附并回收四氟化碳，回收的四氟化碳经过提纯后可重复使用。活性炭在使用1-2年后失效，可在反应炉中与氟气反应生成四氟化碳，吸附的四氟化碳也在生产过程中释放回收，达到四氟化碳的循环使用。

        四氟化碳专用活性炭的主要特点在于不但能够高效吸附电子气体，特别是四氟化碳，而且在吸附饱和后仍能满足利用活性炭制备四氟化碳的要求，这就要求活性炭具有较高吸附值和较低酸溶性物质，还要有合适的比表面积与孔隙分布，以便于制备过程中提升反应效率。我公司利用固定碳含量高的煤种，通过工艺进一步降低灰分和碱金属物质，再通过活化控制比表面积孔隙率，使得活性炭在满足吸附脱附要求的同时也满足了制备四氟化碳的需求。该活性炭在四氟化碳生产工艺中对粗品纯度有较大提高，为下一步精馏处理大大降低了负担和额外消耗。

四氟化碳活性炭回收CF4和再利用流程

四氟化碳专用活性炭参数表（QB/HH/QMSP01-01-2018）